F-Theta lęšiai dažnai naudojami kartu su galvanometriniais skenuojančiais veidrodžiais lazerinio graviravimo, pjovimo ir žymėjimo sistemose. Paprastai lęšio F-Theta iškraipymas yra mažesnis nei 1 %, kad būtų galima sukurti tikslią tašką plokščiame vaizdo plokštumos lauke.
Skersmens tolerancija: +0/-0,13 mm
Storio tolerancija: ±0,25 mm
Židinio nuotolio tolerancija: ±2%
Briaunos storio kitimas (ETV): ≤3 lanko min.
Skaidri diafragma: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Paviršiaus kokybė: 40–20 SD
AR danga: R <0,2% vienam paviršiui @ 10,6 μ